المواصفات

درجة	3N ، 3N5 ، 4N ، بـ Ta ، دقيقة
إعادة التبلور	أعلى دقيقة
حجم الحبوب	ASTM 4 أو أدق
الانتهاء من السطح	16rms كحد أقصى. أو Ra (RMS64 أو أفضل)
التسطيح	من من من من ؟
التسامح	+/-"على جميع الأبعاد

استخدام

يتم لحام الهدف الاخرق التنتالوم مع الهدف الخلفي النحاس ، ومن ثم يتم تنفيذ أشباه الموصلات أو الاخرق البصري لإيداع ذرات التنتالوم على المواد الركيزة لتحقيق طلاء الاخرق. تستخدم أهداف التنتالوم بشكل رئيسي في طلاء أشباه الموصلات ، والطلاء البصري وغيرها من الصناعات. في صناعة أشباه الموصلات ، يستخدم المعدن (Ta) حاليًا لتشكيل طبقة حاجزة عن طريق ترسيب البخار الفيزيائي (PVD).

المزايا

عالية النقاء:مع مستوى نقاء يتجاوز ، تضمن أهداف التانتالوم من تشانج شينج التيتانيوم الحد الأدنى من التلوث ، مما يؤدي إلى إنتاج منتجات موثوقة عالية الجودة.

أقصى كثافة:تتباهى أهداف التنتالوم الاخرق هذه بكثافة قصوى تزيد عن. هذه الكثافة العالية تضمن الاخرق الفعال ، وهو أمر حاسم لتحسين جودة ترسب الطبقة الرقيقة.

بنية مجهرية متجانسة والتركيب الكيميائي:أهداف التنتالوم الاخرق من التيتانيوم تشانج شينج تظهر بنية مجهرية متجانسة والتركيب الكيميائي. يضمن هذا التوحيد معدلات تخرق ثابتة ، مما يؤدي إلى ترسب غشاء رقيق موحد ، وهو أمر حيوي لأداء المنتج النهائي.

التنتالوم الاخرق سلسلة سبيكة الهدف

بالإضافة إلى هدف التنتالوم ، يمكننا أيضًا توفير سبيكة التنتالوم والسليكون ، وسبائك التنتالوم والألومنيوم ، وسبائك التنتالوم والتنجستن ، وسبائك النيكل والتنتالوم ، وسبائك التنتالوم والزركونيوم والكوبالت ، نيتريد التنتالوم ، كربيد التنتالوم ، بوريد التنتالوم ، خماسي أكسيد التنتالوم ، وأهداف أخرى للتفحم.